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顯影機設備的產能設計

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顯影機設備的產能設計

發布日期:2019-02-21 來源:www.ij51.com

ps版自動顯影機的產能設計是一個重要部分,通過對機臺的工藝時間參數、工藝處理周期時間參數、工藝傳遞周期時間參數等核心參數的設計,有效地配置工藝處理模塊的數量及位置、工藝傳遞晶圓的速度及路線,ps版自動顯影機搭建出目標機臺內的工藝模塊組成架構,確定出目標機臺內的各個機器人技術參數,滿足與光刻機聯線生產的量產ps版自動顯影機對產能的技術需求。

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